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电子级硫酸在硅片清洗中的应用!

时间:2020-11-06 浏览:137次
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  高纯硫酸又叫超纯硫酸或者电子级硫酸,通常情况下我们称之为电子级硫酸,是一种非常净并且纯度高的试剂,在一些行业是不成或缺的,特殊是微电子技术成长中,电子级硫酸起着十分要害性的作用!

  日前,大规模的集成电路,半导体,等微电子工业需要大量用到电子级硫酸,主要用来清洗和蚀刻,伴随着我国微电子工业的迅猛成长,电子级硫酸供不应求,十分抢手!岷山环能作为国内一家出产电子级硫酸的大型企业深有体会,下面呢,我们先给大家分享一下关于电子级硫酸在电子硅晶片中的清洗和蚀刻用途吧!

  硅圆片在出产中时常会被一些不同的杂志所玷污,导致很多集成电路的产率下降一半。硅圆片上的不溶性固体颗粒或金属离子可能在微细电路之间导电,导致其短路,几个金属离子或尘埃足以使线宽较小的大规模集成电路报废。

  Na、Ca等碱金属杂质会融进氧化膜中,导致耐绝缘电压下降。当硅圆片表面附着有Cu、Fe、Cr、Ag等重金属杂质时,会使P—N结耐电压降低,影响大规模集成电路电性能。硼、磷、砷等杂质离子会影响扩散剂的扩散效果,尘埃颗粒会造成光刻缺陷,氧化层不服整,影响制版质量和等离子蚀刻工艺。

  为了获得高质量、高产率的集成电路芯片,必需除去各种沾污物,这就需要使用非常纯净的化学试剂来清洗硅圆片,硫酸和过氧化氢按比例组成有强氧化性的SPM清洗液,在120~150℃下对硅片进行清洗时,可将金属氧化后溶于溶液中,并能把有机物氧化成CO2和H2O。它还可用于光刻过程中的湿法蚀刻去胶,借助于化学反应从硅圆片的表面除去固体物质,导致固体表面全部或局部溶解。

  安阳岷山环能是一家集城市矿山开发、危废固废资源综合回收循环再操作、有色及稀贵金属清洁出产、高新材料和聪明能源为一体的循环经济生态企业。我司供给大量电子级硫酸,详情了解关注:/


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